气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter，以下简称MFM）可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有：化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。
产品参数：
基本型号 | AB-10 | AB-10M |
流量规格1(N2标定) | 0～10,50,100,500 SCCM | |
0～1,5,10 SLM | ||
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2～100)％F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
准确度 | ±1.5％F.S. | |
重复精度 | ±0.2％F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.1～0.3MPa (≤10SLM) | ＜1MPa |
最大耐压 | 1 MPa | |
工作环境温度 | 5～45℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0～+5.00V(输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA) | 0～+5.00V(无输入信号，输出电流不大于3mA) |
供电电源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介质接触材质 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶FKM | |
管道接头尺寸 | VCR型接头： 1/4” | |
双卡套型接头： 1/4”、1/8” 或 φ6、φ3 mm | ||
净重量 | 0.88kg | 0.72kg |
产品外型及尺寸：
接线定义：
